Физик Чхало: первый отечественный литограф, который печатает чипы, может быть выпущен в 2030 году

В случае одобрения отечественной разработки, к 2030 году в Российской Федерации запустится производство собственных литографов.

Об этом «Газете.Ru» сообщил главный создатель первого отечественного литографа, разрабатываемого при участии кооперации Национального центра физики и математики (НЦФМ), заведующий отделом многослойной рентгеновской оптики Института физики микроструктур (ИФМ) РАН Николай Чхало.

Это первый этап в создании технологий рентгеновской литографии, на это выделено два года. Это означает, что альфа-машина будет разработана на протяжении 2-х лет от старта создания проекта. По прошествии данного срока возможно будет получить проекционное разрешение объектива в 28-32 нанометров. Также планируется протестировать различные функциональные элементы новой разработки в реальных масштабах, всё это будет сделано в небольшой срок.

«У неё разрешение тоже будет на уровне до 28 нм. В ASML (голландской компании — разработчике самых передовых литографов) интеграция от машины до производства заняла шесть лет примерно. Предполагается, что эта машина пройдет все этапы интеграции в линейке, где-то будет использоваться, может быть, а к 2030 году уже начнется выпуск рабочих литографов. Этот литограф сможет выпускать чипы 28 нм, а потом 14 нм и 12 нм. То есть, это вполне современные размеры» - отметил Николай Чхало.

0 комментариев